中标喜讯 | 格林斯达中标积塔半导体排气系统项目

冬日暖阳，积蓄力量！近日，格林斯达环保集团成功中标上海积塔半导体12寸集成电路芯片特色工艺生产线建设项目排气系统包项目！本次项目中标，充分体现了客户对格林斯达在半导体集成电路领域制程排气系统积累的成熟服务经验和系统交付能力的认可，有助于进一步彰显和巩固格林斯达在集成电路领域的市场竞争优势。格林斯达团队定将不负所托，以客户为中心，全力以赴完成此项目的顺利交付，并争取在此项目的执行过程中能够更大程度的发挥产品品质及稳定交付的优势，致力打造标杆工程！

客户介绍

上海积塔半导体有限公司（以下简称“积塔半导体”）成立于2017年，注册资本1015231.1273万人民币。积塔半导体是专注于半导体集成电路芯片特色工艺的研发和生产制造基地，公司寓意为“积沙成塔、使命必达”。积塔半导体在中国（上海）自由贸易试验区临港新片区和徐汇区建有两个厂区，已建和在建产能共计28万片/月，其中６吋7万片/月、８吋11万片/月、12吋5万片/月、碳化硅3万片/月，为汽车电子、工业控制和高端消费电子领域提供微控制器、模拟电路、功率器件、传感器等核心芯片特色工艺制造平台和技术服务。本项目规划二阶段建设一条12英寸月产能4万片的40纳米汽车芯片生产线。

积塔半导体是国内zui早从事汽车电子芯片、IGBT芯片制造企业。2021年积塔半导体晶圆产能位列国内前五、车规级电子产能国内第yi、SiC晶圆代工产能国内第yi。作为国内较早具备碳化硅(SiC)功率器件制造能力的企业，积塔半导体专注于半导体集成电路芯片特色工艺的研发，为汽车电子、工业控制和高端消费电子领域提供核心芯片特色工艺制造平台和技术服务。其工艺技术平台覆盖JBS和MOSFET等，已建成自主知识产权的车规级650V/750V/1200V碳化硅JBS工艺平台、650V/750V/1200V碳化硅MOSFET工艺平台。

项目介绍

本项目为上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目排气系统包，一阶段Phase A(0K~20K)，二阶段Phase B(20k~40k)。项目地点为上海市浦东新区云水路600号，项目金额约9388万元。排气系统包分为五个独立的排气系统：氧化性酸排气、挥发性酸排气、外延区酸性排气、 碱性排气、有机排气、砷排气、一般热排气。本包执行范围包括各系统工艺排气的收集管路系统、屋面中央处理设备（包括酸性、碱性、有机废气处理设备）、排放系统、排气系统的配电及自控系统、在线监测系统及配套的钢结构、给排水等附属工程。