氟化物废气怎么处理？半导体产业氟化物废气处理方法介绍
- 格林斯达环保集团
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半导体行业在器件生产环节即硅片清洗、刻蚀、去胶等工艺节点，因为使用氟氢酸来清除硅片表面的氧化物，其过程会排放氟化物废气。该废气是一种具有腐蚀性的酸性废气，必须经废气处理设备净化后才能排放。那么，氟化物废气怎么处理？格林斯达环保公司为您提供氟化物废气处理方法介绍：
氟化物废气处理
集成电路制造行业的氟化物废气处理，格林斯达环保公司设计的废气处理方案，氟化物废气治理湿法净化技术工艺，通常采用水、碱性溶液来吸收氟化物，即废气碱洗。
半导体行业氟化物废气处理方法
对于半导体密闭车间机台的氟化物废气通过吸气罩进行收集，由耐腐蚀风机的负压动力吸入排气风管，再送进连接一体的洗涤塔 对废气进行喷淋碱洗，直zhi气体达标后从烟囱高空排出。
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