上海积塔电子半导体制程排气废气治理系统工程

上海积塔半导体有限公司成立于2017年，是华大半导体旗下全资子公司。华大半导体则是中国电子信息产业旗下子公司，为中国10大集成电路设计公司之一。

格林斯达作为积塔半导体的废气系统解决方案供应商，在2019年新项目中，为积塔提供工艺排气系统的废气处理解决方案，主要包括SX系统：6套*90000CMH酸性废气处理系统、EPISEX系统：2套*20000CMH酸性废气处理系统、AEX系统：3套*60000CMH碱性废气处理系统、VEX系统：2套*100000CMH有机废气处理系统。